参数

可靠的AutoID用于元素识别；准确的定量-所有计数率；峰值偏移和分辨率变化稳定保证在1,000到100,000 cps之间；以非常高的计数率进行全面的软件校正，包括堆积校正；集成的分析硬件链，可以实现快速、可靠的分析性能

X射线能谱分析，简写EDS，通常通过配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用，是用来对材料微区成分元素种类与含量进行分析：利用电子束与物质作用时产生的特征X射线，来提供样品化学组成方面的信息，可定性、半定量检测大部分元素（Be4-PU94），可进行表面污染物的分析。

适用标准

GB/T 17359-2012 微束分析 能谱法定量分析